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龙门双驱精密运动平台

重复定位精度 ±1μm

高动态响应特性

低静态颤抖

快速整定

支持非标定制

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技术指标

 数据

有效行程

X轴:300mm  Y轴:300mm

最大速度

X轴:1000mm/s  Y轴:1000mm/s

最大加速度 

X轴:0.6G  Y轴:0.6G

重复定位精度

X轴:±0.5μm  Y轴:±1μm

直线度

X轴:±4μm  Y轴:±4μm

行走平面度

X轴:±5μm  Y轴:±5μm

正交度

±5μm

负载

10kg

光栅尺区分率

0.1μm

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